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浅谈真空泵抽取真空的方法

更新时间:2022/07/18 11:22:07  点击次数:  

  真空泵是通过机械、物理、化学等多种方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件设备。真空泵的工作原理可以分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型,真空泵常见抽取真空技术可分为机械法和物理法。
  1、机械法
  使用机械法抽真空的也有两种类型的泵,一种是变容真空泵,一种动量传输泵。变容真空泵通过泵的容腔容积的变化完成吸气和排气的过程,达到抽气的目的,分为复式和旋转式两种。还有就是动量传输泵,通过高速旋转的叶片或者高速的射流,气体分子接收到这种动量,这种动量将气体连续的输送,包括分子真空泵、水蒸汽喷射泵以及扩散泵等。
  2、物理法
  使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空,是一种捕集真空装置;吸气剂泵则是利用吸气剂(一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在)捕获气体,进行抽真空;吸气剂离子泵将气体电离,再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的,从而实现抽气,又分为两种,一种是蒸发离子泵,被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附,另外一种是溅射离子泵,被电离的离子,被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上,实现吸气。